1. تعریف سیستم گاز فله:
ذخیره سازی و کنترل فشار گازهای بی اثر انواع گاز: گازهای بی اثر معمولی (نیتروژن، آرگون، هوای فشرده و غیره)
اندازه خط لوله: از 1/4 (خط لوله نظارت) تا خط لوله اصلی 12 اینچ
محصولات اصلی سیستم عبارتند از: شیر دیافراگمی/شیر دمش/شیر توپی، رابط با خلوص بالا (VCR، فرم جوش)، کانکتور فرول، شیر تنظیم فشار، گیج فشار و غیره.
در حال حاضر، سیستم جدید شامل یک سیستم گاز مخصوص فله نیز می شود که از سیلندرهای گاز ثابت یا کامیون های مخزن برای ذخیره سازی و حمل و نقل استفاده می کند.
2. تعریف سیستم تصفیه:
حذف ناخالصی ها از گازهای حجیم برای خطوط لوله گاز با خلوص بالا
3. تعریف کابینت گاز:
کنترل فشار و نظارت بر جریان را برای منابع گازی خاص (گازهای سمی، قابل اشتعال، واکنش پذیر، خورنده) ارائه دهید و قابلیت تعویض سیلندرهای گاز را داشته باشید.
مکان: در طبقه Sub-fab یا طبقه پایین برای ذخیره گازهای خاص قرار دارد منبع: NF3، SF6، WF6 و غیره.
اندازه خط لوله: خط لوله داخلی گاز، به طور کلی 1/4 اینچ برای خط لوله فرآیند، 1/4-3/8 اینچ عمدتا برای خط لوله پاکسازی نیتروژن با خلوص بالا.
محصولات اصلی: شیرهای دیافراگمی با خلوص بالا، شیرهای چک، گیج فشار، گیج فشار، کانکتورهای خلوص بالا (VCR، فرم جوش) این کابینت‌های گاز اساساً دارای قابلیت سوئیچینگ خودکار برای سیلندرها برای اطمینان از عرضه مداوم گاز و جایگزینی ایمن سیلندرها هستند.
4. تعریف توزیع:
اتصال منبع گاز به کویل جمع آوری گاز
اندازه خط: در کارخانه تراشه، اندازه خط لوله توزیع گاز فله معمولاً از 1/2 اینچ تا 2 اینچ متغیر است.
شکل اتصال: خطوط لوله گاز مخصوص عموماً با جوش، بدون هیچ گونه اتصال مکانیکی یا سایر قطعات متحرک به هم متصل می شوند، عمدتاً به این دلیل که اتصال جوش دارای قابلیت آب بندی قوی است.
در یک کارخانه تولید تراشه، صدها کیلومتر لوله برای انتقال گاز متصل است که اساساً حدود 20 فوت طول دارند و به هم جوش داده می‌شوند. برخی از خم شدن لوله ها و اتصالات جوش لوله ای نیز بسیار رایج هستند.
5. جعبه شیر چند منظوره (Valve Manifold Box، VMB) تعریف:
توزیع گازهای ویژه از منبع گاز به انتهای تجهیزات مختلف است.
اندازه خط لوله داخلی: خط لوله فرآیند 1/4 اینچ و خط لوله پاکسازی 1/4 - 3/8 اینچ. سیستم ممکن است از کنترل کامپیوتری برای نیاز به شیرهای فعال یا موقعیت‌های کم‌هزینه با شیرهای دستی استفاده کند.
محصولات سیستم: شیرهای دیافراگمی با خلوص بالا / شیرهای دم، شیرهای چک، اتصالات با خلوص بالا (VCR، فرم جوش میکرو)، شیرهای تنظیم فشار، گیج‌های فشار و فشار سنج و غیره. برای توزیع برخی از گازهای بی اثر، پنل منیفولد شیر - عمدتاً از VMP (دیسک شیر چند منظوره) استفاده می شود که دارای سطح دیسک گاز باز است و نیازی به فضای بسته ندارد. طراحی و پاکسازی اضافی نیتروژن
6. صفحه / جعبه شیر ثانویه (پنل اتصال ابزار) تعریف:
گاز مورد نیاز تجهیزات نیمه هادی را از منبع گاز به انتهای تجهیزات وصل کنید و تنظیم فشار مربوطه را ارائه دهید. این پنل یک سیستم کنترل گاز است که نسبت به VMB (جعبه شیر چند منظوره) به انتهای تجهیزات نزدیکتر است.
اندازه خط لوله گاز: 1/4 - 3/8 اینچ
اندازه خط لوله مایع: 1/2 - 1 اینچ
اندازه خط لوله تخلیه: 1/2 - 1 اینچ
محصولات اصلی: شیر دیافراگمی / شیر دم، شیر یک طرفه، شیر تنظیم فشار، گیج فشار، گیج فشار، اتصال با خلوص بالا (VCR، میکرو جوش)، اتصال فرول، شیر توپ، شیلنگ و غیره.
زمان ارسال: نوامبر-22-2024