۱. تعریف سیستم گاز فله:
ذخیره سازی و کنترل فشار گازهای بی‌اثر انواع گاز: گازهای بی‌اثر معمول (نیتروژن، آرگون، هوای فشرده و غیره)
اندازه خط لوله: از ¼ (خط لوله نظارت) تا خط لوله اصلی ۱۲ اینچی
محصولات اصلی این سیستم عبارتند از: شیر دیافراگمی/شیر دمنده/شیر توپی، کانکتور با خلوص بالا (VCR، فرم جوشکاری)، کانکتور فرول، شیر تنظیم فشار، فشارسنج و غیره.
در حال حاضر، سیستم جدید شامل یک سیستم گاز ویژه فله‌ای نیز می‌شود که از سیلندرهای گاز ثابت یا کامیون‌های مخزن‌دار برای ذخیره‌سازی و حمل و نقل استفاده می‌کند.
۲. تعریف سیستم تصفیه:
حذف ناخالصی‌ها از گازهای فله برای خطوط لوله گاز با خلوص بالا
۳. تعریف کابینت‌های گاز:
کنترل فشار و نظارت بر جریان را برای منابع گاز ویژه (گازهای سمی، قابل اشتعال، واکنش‌پذیر، خورنده) فراهم کنید و توانایی تعویض سیلندرهای گاز را داشته باشید.
مکان: واقع در طبقه زیر کارخانه یا طبقه پایین برای ذخیره گازهای ویژه. منبع: NF3، SF6، WF6 و غیره.
اندازه خط لوله: خط لوله گاز داخلی، عموماً ¼ اینچ برای خط لوله فرآیند، ¼ تا ¾ اینچ عمدتاً برای خط لوله تصفیه نیتروژن با خلوص بالا.
محصولات اصلی: شیرهای دیافراگمی با خلوص بالا، شیرهای یکطرفه، گیج‌های فشار، گیج‌های فشار، رابط‌های با خلوص بالا (VCR، فرم جوشکاری) این کابینت‌های گاز اساساً حاوی قابلیت‌های سوئیچینگ خودکار برای سیلندرها هستند تا تأمین مداوم گاز و تعویض ایمن سیلندرها را تضمین کنند.
۴. تعریف توزیع:
اتصال منبع گاز به کویل جمع‌آوری گاز
اندازه خط: در کارخانه تراشه، اندازه خط لوله توزیع گاز فله معمولاً از 1/2 اینچ تا 2 اینچ متغیر است.
فرم اتصال: خطوط لوله گاز ویژه معمولاً با جوشکاری و بدون هیچگونه اتصال مکانیکی یا سایر قطعات متحرک متصل می‌شوند، عمدتاً به این دلیل که اتصال جوشکاری از قابلیت آب‌بندی قوی برخوردار است.
در یک کارخانه تراشه سازی، صدها کیلومتر لوله برای انتقال گاز به هم متصل هستند که اساساً حدود ۲۰ فوت طول دارند و به هم جوش داده شده اند. برخی خمیدگی های لوله و اتصالات جوشکاری لوله ای نیز بسیار رایج هستند.
۵. جعبه شیر چند منظوره (جعبه منیفولد شیر، VMB) تعریف:
این برای توزیع گازهای ویژه از منبع گاز به انتهای تجهیزات مختلف است.
اندازه خط لوله داخلی: خط لوله فرآیند ۱/۴ اینچ و خط لوله پاکسازی ۱/۴ تا ۳/۸ اینچ. سیستم ممکن است از کنترل کامپیوتری برای نیاز به شیرهای فعال یا موقعیت‌های کم‌هزینه‌تر با شیرهای دستی استفاده کند.
محصولات سیستم: شیرهای دیافراگمی/شیرهای بیلوزی با خلوص بالا، شیرهای یکطرفه، اتصالات با خلوص بالا (VCR، فرم میکرو جوش)، شیرهای تنظیم فشار، گیج‌های فشار و گیج‌های فشار و غیره. برای توزیع برخی از گازهای بی‌اثر، عمدتاً از پنل منیفولد شیر - VMP (دیسک شیر چند منظوره) استفاده می‌شود که دارای سطح دیسک گاز باز است و نیازی به طراحی فضای بسته و تصفیه نیتروژن اضافی ندارد.
۶. صفحه/جعبه شیر ثانویه (پنل اتصال ابزار) تعریف:
گاز مورد نیاز تجهیزات نیمه‌هادی را از منبع گاز به انتهای تجهیزات وصل کنید و تنظیم فشار مربوطه را انجام دهید. این پنل یک سیستم کنترل گاز است که نسبت به VMB (جعبه شیر چند منظوره) به انتهای تجهیزات نزدیک‌تر است.
اندازه خط لوله گاز: ¼ تا ¾ اینچ
اندازه خط لوله مایع: 1/2 - 1 اینچ
اندازه خط لوله تخلیه: 1/2 - 1 اینچ
محصولات اصلی: شیر دیافراگمی/شیر بیلوز، شیر یک طرفه، شیر تنظیم فشار، گیج فشار، گیج فشار، اتصال با خلوص بالا (VCR، میکرو جوش)، اتصال فرول، شیر توپی، شیلنگ و غیره
زمان ارسال: ۲۲ نوامبر ۲۰۲۴