بنر_صفحه

اخبار

مقدمه‌ای بر خطوط لوله گاز با خلوص بالا در مقیاس الکترونیکی

در صنایعی مانند میکروالکترونیک، اپتوالکترونیک و زیست‌داروها،آنیل روشن(BA)، اسیدشویی یا غیرفعال‌سازی (AP)،پولیش الکترولیتی (EP)و تصفیه ثانویه خلاء معمولاً برای سیستم‌های خط لوله با خلوص بالا و تمیز که محیط‌های حساس یا خورنده را منتقل می‌کنند، استفاده می‌شوند. محصولات حل شده (VIM+VAR).
الف) الکتروپولیش (الکتروپولیش) به عنوان EP شناخته می‌شود. از طریق پولیش الکتروشیمیایی، مورفولوژی و ساختار سطح می‌تواند تا حد زیادی بهبود یابد و مساحت سطح واقعی تا حد معینی کاهش یابد. سطح یک فیلم اکسید کروم بسته و ضخیم است، انرژی نزدیک به سطح عادی آلیاژ است و مقدار واسطه کاهش می‌یابد - معمولاً برای درجه الکترونیکی مناسب است.گازهای با خلوص بالا.
ب. آنیلینگ براق (Bright Annealing) که به اختصار BA نامیده می‌شود. عملیات حرارتی با دمای بالا در حالت هیدروژناسیون یا خلاء، از یک طرف تنش داخلی را از بین می‌برد و از طرف دیگر، یک لایه غیرفعال روی سطح لوله تشکیل می‌دهد تا ساختار مورفولوژیکی را بهبود بخشد و سطح انرژی را کاهش دهد، اما زبری سطح را افزایش نمی‌دهد - معمولاً برای GN2، CDA و گازهای بی‌اثر غیرفرآیندی مناسب است.
ج. اسیدشویی شده و پسیو شده/پولیش شیمیایی (Pickled & Passivated/Chemical Polished) که به اختصار AP و CP نامیده می‌شوند. اسیدشویی یا پسیواسیون لوله، زبری سطح را افزایش نمی‌دهد، اما می‌تواند ذرات باقی مانده روی سطح را حذف کرده و سطح انرژی را کاهش دهد، اما تعداد لایه‌های میانی را کاهش نمی‌دهد - که معمولاً در لوله‌های صنعتی استفاده می‌شود.
 
د. لوله تمیزکننده انحلال ثانویه در خلاء Vim (ذوب القایی در خلاء) + Var (ذوب قوسی در خلاء)، که به عنوان V+V شناخته می‌شود، محصولی از شرکت Sumitomo Metal است. این لوله دوباره تحت شرایط قوس در حالت خلاء فرآوری شده است که به طور موثری مقاومت در برابر خوردگی و زبری سطح را بهبود می‌بخشد. درجه - معمولاً برای گازهای درجه الکترونیکی با خلوص بالا و بسیار خورنده، مانند: BCL3، WF6، CL2، HBr و غیره مناسب است.

 ۱۷۱۲۵۴۲۸۵۷۶۱

 

 


زمان ارسال: آوریل-08-2024